В 1857 году была изобретена трубка для получения озона и впервые использована фирмой "Сименс" в создании установки для очистки питьевой воды. В последующие десятилетия озоновые установки совершенствовались, находили новое применение. В настоящее время в Германии, Франции, Белоруссии, России и др. странах налажено серийное производство генераторов озона, которые применяются в различных отраслях народного хозяйства, промышленности, здравоохранении.

Озонаторное оборудование для синтеза озона (озонаторы) различается по:

• конструкции исполнения (секционные, блочные, приборные, лабораторные);
• виду разрядной камеры (трубчатые, пластинчатые, специальные);
• способу охлаждения разрядной камеры (воздушное, водяное, специальное);
• способу перемещения (контейнерные, стационарные, мобильные, переносные);
• производительности озона:
  - большой мощности (более 100 кг/час);
  - средней мощности (от 5 до 100 кг/час);
  - малой мощности (до 5 кг/час).